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由于氣體分為單質(zhì)氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等，所以可將組成氣體的物質(zhì)（或元素）稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為：除本氣體成份外，所含其它物質(zhì)的多少。例如：氮氣的純度，是指除N成份外，含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬、塵粒等雜質(zhì)的多少；氨氣的純度，是指除NH3成份外，含有的O2、N2、CO2、H2O、塵粒等雜質(zhì)的多少；又如氮和氦的混合氣，是指除N2和He成份外，含有的O2、CO2、H2O塵粒等雜質(zhì)的多少。

無錫氣體純度的提法有多種，如普通純、高純氣體、電子純、特純等，隨著超大規(guī)模集成電路（VLSI）和特大規(guī)模集成電路（ULSI）的發(fā)展，又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切，只是粗略的講了氣體純度的高低，沒有真正說明氣體純度的大小。

氣體純度常用的表示方法：

1、用百分數(shù)表示，如99%，99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。

2、用“N”表示，如3N，5N，4.8N，5.5N，6N，7N等，N數(shù)目與（1）中的“9”的個數(shù)相對應(yīng)，小數(shù)點后的數(shù)表示不足“9”的數(shù)。如4N（99.99%），6N（99.9999%）,7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。

關(guān)于雜質(zhì)含量有常量、微量和痕量等表示，對于低于微量和痕量雜質(zhì)一般指ppm~ppb范圍。具體的雜質(zhì)濃度：1ppm=10-4%；1ppb=10-7%；1ppt=10-10%。

根據(jù)氣體純度的不同，通常又將氣體純度分為四級，即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體，下表給出氣體純度等級和器件生產(chǎn)工藝上的應(yīng)用。